臭氧消毒一般分为准备，消毒和结束三个阶段，具体内容见下图：
消毒的原理主要为破坏性氧化，通过穿透微生物细胞膜，氧化酶系统、DNA/RNA结构，使细菌、病毒失活。其杀灭具备广谱高效性、较好的扩散性，但杀灭效果受参数影响明显。具体影响如下：
1、浓度与时间的协同作用
臭氧消毒效果与臭氧浓度和作用时间有关。例如在空间消毒过程中，臭氧浓度需达到20mg/m³，并维持30min，才能实现90%以上的自然菌杀灭率。
2、空气湿度对消毒效果有显著影响
当空气湿度<45%时，臭氧几乎无杀菌作用，相对湿度需≥70%才能发挥臭氧的消毒效果，达到95%时效果最佳。洁净厂房通常湿度≤60%，若消毒时未额外加湿，可能导致消毒失败。
3、温度的对消毒效果的影响
低温可增强臭氧溶解性，提升其消毒效果，而高温会加速其分解，导致消毒效果受限。
相关标准对消毒参数的要求见下表：
表1：臭氧消毒相关标准参数要求